本实用新型公开了一种制备致密硫化镉薄膜的装置，包括自上而下依次设置的:水箱，所述水箱内部装有水和反应容器，所述反应容器内装有至少一块衬底、反应溶液和磁子，同时在所述水箱底部设置至少一个超声波振子或在所述水箱内部设有超声波振板；磁力搅拌器，设于所述水箱底部，并控制所述反应溶液温度和所述磁子转速；以及超声波发生器，位于磁力搅拌器下方。本实用新型的优点在于，不仅操作简单，成品质量高，成本低，稳定性高，而且既能够实现对化学水浴法中反应溶液的均匀充分搅拌，又能够减少大颗粒和团簇的附着，有助生长均匀致密的大尺寸硫化镉薄膜。