西交利物浦大学

归靖慷 | 赵策洲 | 胡新立

可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统

[0015]本发明建立了一个安全可靠的可针对X射线、γ射线辐射实验用途的多功能手动探针台测试系统，可以用来帮助研究人员有效地研究光子对半导体材料(包括新兴的高-k材料)和相关基础元器件的影响，具有高性价比、高安全性的优点。 [0016]本发明技术方案中通过空位位置调节装置的改进，包括延长探针台x、y、z轴方向调节操控杆实现探针台x、y、z轴方向调节和θ角调节，使之能够在辐射防护暗箱外部在一定的范围内能够被操控。铅容器的厚度经过严格的理论计算并经外部剂量当量的实际测量。另外，辐射防护暗箱内部由轻质防辐射材料铺成。辐射防护箱的一方面对操作人员实施了双重的辐射防护，另一方面保证在进行如图1所示的辐射实验时，楼层上方的人员安全。由于在实验完成前辐射防护暗箱保持关闭，扎针的情况通过电子目镜向计算机显示屏输出，使得扎针能顺利完成。在完成扎针后，通过IV，CV曲线测试仪，数据由另一计算机采集处理。 [0017]相对于现有技术中的方案，本发明的优点是： [0019]本发明技术方案可以实现在实验中的防辐射安全操作。另外，该探针台可以方便的变为一般的探针台。取下电子目镜装置和与x、y、z轴和θ角相连的长操控杆，即可进行普通的探针台实验。所以本发明的多功能探针测试系统可用于辐射实验和一般的芯片测量实验，安全可靠，结构简单，性价比高。 [0020]本发明的防辐射探针台测试系统可以实现芯片在X射线、γ射线辐射下的安全实验测量及相关研究。在现阶段此发明填补了利用探针台完成电离辐射对半导体芯片及其器件影响实验的技术空白，为防辐射集成电路开发应用奠定了基础。此套测试系统能够帮助研究人员安全地完成辐射实验，更好的研究辐射对芯片的影响，这将为提高新一代航天航空微电子，军用微电子抗辐射的特性。为了克服现有的探针台无法完成X射线、γ射线相关实验的不足，本多功能探针台测试系统，弥补了此项技术的空白。该测试系统不仅具有普通探针台的测试功能，而且能方便地、安全地实现光子辐射芯片的测试。