微纳线制备装置及微纳结构
- 公开号
CN209850936U
- 申请号
CN201920252988.9.0
- 专利类型
实用新型
- 申请日期
2019-02-28
- 授权日期
2019-12-27
- IPC主分类号
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
摘 要
一种微纳线制备装置及微纳结构，属于微电子技术领域。所述微纳线制备装置包括液相纳米材料存储装置和微纳线布施机构；所述液相纳米材料存储装置设有至少一个出液孔，微纳线布施机构与出液孔一一对应设置；所述微纳线布施机构包括至少两根柔性线材，柔性线材表面具有规则分布的微型结构，柔性线材根部固定在液相纳米材料存储装置上，两根柔性线材为一组、端部下垂落于衬底上并相互顶靠，端部顶靠的两根柔性线材在衬底上投影后的夹角范围为1°～5°。本实用新型基于液相纳米材料的重力、与柔性线材的拉普拉斯压力差和不对称保持力，能够实现微纳线的快速制备。
当前申请（专利权）人
西交利物浦大学
发明人
方欲晓 | 赵春 | 赵策洲 | 杨莉
标题
技术功效
[0015]与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：
[0016]1)基于液相纳米材料的重力、与柔性线材的拉普拉斯压力差和不对称保持力能够实现微纳线的快速制备；
[0017]2)通过控制柔性线材的运动方向、运动速度和相对于衬底压力，可以精确控制制备的微纳线的宽度和厚度，保证了微纳线的物理化学性能；
[0018]3)通过稳定地移动柔性线材，可在任意形状的衬底上制备出均匀的微纳线，特别是柔性或曲面衬底，使本实用新型在可穿戴、可植入的电子器件生产中具有很大的应用前景；
[0019]4)材料和器件可选择范围广，成本低，制备条件要求低，工艺简单，可大面积生产。
