脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量装置和方法
  • 公开号
    CN102116827B
  • 申请号
    CN201010602838.X.0
  • 专利类型
    授权发明
  • 申请日期
    2010-12-23
  • 授权日期
    2013-03-20
  • IPC主分类号
    测量;测试
摘 要
本发明公开了一种脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量装置,包括脉冲信号发生模块、电流转换模块、数据采集模块和计算机控制模块;还公开了脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量方法,在计算机控制模块上设置各模块的参数,并初始化,计算机控制模块向脉冲信号发生模块发送测试指令,使其输出脉冲信号给待测器件,电流转换模块将待测器件的微电流放大,转换为电压信号后输出,数据采集模块将接收的信号转化成数字信号后传送给计算机控制模块;计算机控制模块保存、计算数据,在屏幕上显示波形曲线。本发明的装置造价便宜,测量方便快速,整个实验过程自动进行,数据自动处理并直接显示特性曲线,提高了测试效率。
当前申请(专利权)人
西交利物浦大学 | 西安交通大学 | 西安交通大学苏州研究院
发明人
魏小莽 | 赵策洲 | 周云龙
技术功效
[0023]本发明的优点是: [0024]1.和由脉冲发生器与示波器等仪器搭建的测试电路相比,本发明的测量装置用计算机屏幕代替示波器来显示信号波形节省了测量成本; [0025]2.本发明通过数据采集模块将测量数据传送至计算机控制模块,可通过屏幕实时显示测量结果与信号波形,方便使用者观察; [0026]3.通过将脉冲I-V与脉冲C-V测试集合到了一个装置中,可以简化人为搭建两套测试系统的步骤,节约测试时间,提高测试效率; [0027]4.通过计算机控制模块可以同时设置整套装置里所有模块的测量参数,节省了大量人力操作时间,提高了测试效率与测试精度; [0028]5.通过计算机控制模块可以自动处理实验数据并保存结果,加快测试速度。