本发明公开了一种自旋极化电流驱动的亚微米/纳米马达及其制作方法，其中马达结构包括：其上制有沟槽的硅基衬底，架设在所述沟槽上方、且其两端通过金属电极固定在所述硅基衬底上的磁性金属纳米线，以及通过导线与所述金属电极相连的电源。该马达制作工艺简单可行，结构性能稳定，容易与现有的微电子器件集成，克服了现有技术中采用生物学或化学方法制作的亚微米/纳米马达结构性能不稳定并且很难与现有微电子器件集成的问题。