本发明公开了一种碲铜化合物纳米材料的制备方法，与薄膜太阳电池背接触重掺杂层相关。本发明碲铜化合物纳米材料的制备方法为，首先将铜粉放入管式炉中加热烘烤，然后把铜粉放在有机酸‑‑‑无机酸混合液中腐蚀，经过去离子水反复冲洗之后，放在等离子清洗机中处理一段时间，最后把处理后铜粉和碲粉按一定的化学配比进行混合，把混合物置于在行星式球磨机的球磨罐中密封，对材料进行多次研磨加热，每个循环的加热温度逐步升高，最后可得到化学配比可调的碲铜化合物纳米粉末。所得的CuxTe纳米粉末可以大幅度提高纯度，化学配比固定，该材料能够应用于碲化镉薄膜太阳能电池的背接触电极中。并且在整个制备过程都是封闭的，不会对环境和操作人造成污染。